Lehrstuhl für Mikro- und Nanoelektronik

Der Lehrstuhl für Mikro- und Nanoelektronik befasst sich mit der Herstellung und Charakterisierung neuartiger nanoskaliger und nieder-dimensionaler Materialien, bei denen durch geeignete Strukturierung, eingebaute Defekte oder Heterostrukturen, funktionale Eigenschaften genutzt werden können. So lassen sich eine Vielzahl multiferroischer, nanoionischer oder photonischer Phänomene durch Nanostrukturierung, Grenzflächeneffekte und Dotierung gezielt kontrollieren. Hierfür steht dem Lehrstuhl für Mikro- und Nanoelektronik eine CMOS-Technologie-Linie zur Verfügung, um die spezifischen Merkmale unterschiedlicher Herstellungsmethoden der Halbleiter- und Mikro-/Nanotechnologie ausnutzen zu können. Fundamentale physikalische, elektronische, chemische oder photonische Eigenschaften werden dabei auf nahezu atomarer Skala charakterisiert und modelliert. Auf der Basis dieser Materialeigenschaften werden innovative Bauelemente und Schaltungskonzepte für Anwendungen in der Informationstechnik, Sensorik, Photonik und den Quantentechnologien entwickelt und analysiert.