Abgeschlossene Projekte
Ein hochqualifiziertes und erfahrenes Team von Forschern entwickelt am Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme neue Hochleistungsprozesse für die Systemintegration.
In weiteren Entwicklungsstufen des Drucksensors ist beabsichtigt, die Fertigung in einen Back-End-Prozess zu überführen.
Anstelle von UV-Strahlung werden Photoelektronen zur Ionisation genutzt.
Entwicklung eines monolithisch integrierten, nanoskaligen Sensorsystem.
Der Einsatz moderner in Planartechnologie gefertigter Driftdetektoren auf Halbleiterbasis bildet die Grundlage für leistungsfähige Systeme.
Ein innovatives Konzept um nanoelektronische Schalter zu verbessern ist der Tunnel FET ...
A highly qualified and experienced research team at the Intelligent Microsystems Institute focuses on the development and standardisation of new system integration processes.
Neuartige Kanalmaterialien sollen bisherige Lösungen ersetzen und Feldeffekttransistoren revolutionieren.